小間番号：6A-408
アメテック （あめてっく）
AMETEK Co, Ltd
- 一般展示
■事業内容
AMETEK, Inc.は50を超える様々な事業部により構成されている企業で、米国およびその他30カ国において100以上の販売・サービス拠点を運営しています。
超精密測定機器や加工装置、素材分析装置、EMC機器、耐候性試験装置などを製造、販売しております。
■みどころ・出展製品
EDAX：これまで測定できなかったビームセンシティブな試料を測定できるEBSD装置Clarity,
Gatan高感度反射電子検出器OnPointとEDAX EDS検出器を組合わせて正極材料のリチウムをSEMで分析できる装置のご紹介。
CAMECA: 最新型3次元アトムプローブ装置；LEAP6000XR、Invizo6000による高感度・高領域分析の紹介。半導体ライン用全自動二次イオン質量分析装置:AKONISの紹介。
ZYGO: 白色干渉を利用しサブナノ精度の表面、界面の3D情報を数秒で数値化。
■製品情報
IMS 7f-Auto
磁場セクタ型二次イオン質量分析装置
LEAP6000XR
3次元アトムプローブ装置: 深紫外光レーザ搭載、電圧⁺レーザのハイブリッドモードでの高S/N比測定が可能。
AKONIS
半導体ライン用全自動二次イオン質量分析装置
NanoSIMS50L
高分解能磁場セクタ型SIMS: 高感度イオン顕微鏡
SEM用シリコンナイトライドウィンドウSDD
シリコンナイトライドウィンドウを採用しX線透過率が向上、またX線計数率が30％以上増え高速分析が可能
SEM用直接検出型EBSD検出器
電子直接検出技術を採用し、ビームセンシティブな試料の低照射電流におけるEBSD解析を実現
SEM用OnPoint BSE検出器とOctane SDD検出器
強度差組成決定法により、一桁の質量パーセントのリチウムの定量マッピングを実現
NX2 サブナノ精度の表面情報を数秒で計測
ZYGOのNX2は白色干渉を利用し前処理不要で表面及び2原料の界面情報の取得が数秒で可能。