小間番号：4A-303
エリオニクス （えりおにくす）
ELIONIX INC.
- 一般展示
■事業内容
電子・イオン等の粒子線、および光・X線等の電磁波に関する技術を応用した各種機器・システムの研究・開発・設計・製造・販売・技術提供・輸出入・ 保守サービス等
■みどころ・出展製品
「ナノインデンテーションテスター １μm以下の薄膜硬度測定が可能」
あらゆる素材の硬さがわかるナノインデンテーション試験機「ENT-5」
・メッキ、硬質皮膜などの薄膜材料
・樹脂材料、フィルム系材料
・DLCなどの極薄膜
・機能性樹脂膜や表面改質膜
・微小粒子や粉体材料
■製品情報
超微小押し込み硬さ試験機『ENT-5』
ENT-5 5世代目の「ENT」測定環境の外乱を抑えることによる高いデータ再現性。
超大型非破壊観察装置『ERA-600SP』
直径400mmまでのサンプルをそのまま取り付け、高分解能電子ビームを用いて、極微細な形状解析が可能
電子ビームエッジ解析装置『ERA-nanoR』
ナノレベルでエッジのR（曲率半径）や面粗さを数値化
電子線三次元粗さ解析装置『ERA-9200』
セミインレンズ超高分解能走査電子顕微鏡。
加速電圧1kVでの分解能0.7nm。
電子線水素可視化装置『ERA-600H2』
NIMSとの共同開発！電子線で試料表面を走査してSEM像と表面水素イオン像の双方を撮影・解析が可能。