■事業内容
ICP-OES/ICP-MSの部品・微量元素分析に関する周辺機器の販売。
蒸留・濃縮・容器洗浄器等前処理装置、自動標準液添加装置、気体中金属微粒子導入システム、オンラインモニタリングシステム、全自動気相分解(VPD)ICP-MS装置等の大型システム。
■みどころ・出展製品
自動標準液添加装置(ASAS) 最新モデルを展示いたします。
■製品情報
ASAS II : オンライン自動標準液添加装置
ICP-MSとサンプル間に設置、検量線用標準液の自動調製と添加は煩雑な作業を軽減し、測定の自動化をサポート
ASASII用自動希釈機能付きオートサンプラー
被測定試料をオートサンプラーのラックにセットするだけで、指定した希釈倍率で被測定試料を希釈
GED : 気体中金属微粒子導入システム
ICP-MSの試料導入系として、各種ガス中に含まれる金属微粒子を直接分析することが可能
MSAG : 金属標準エアロゾル発生ユニット
GEDと組合せることにより、ガス試料中の粒子状およびガス状金属不純物分析を
オンラインで分析可能
Expert : 全自動気相分解（VPD）装置
気相分解法により回収した溶液をICP-MSで自動分析。Siウェーハ中微量金属不純物の
オンライン分析が可能
CSI : オンラインモニタリングシステム
半導体製造ラインで必要な品質管理用に設計・開発された、薬液中金属不純物をpptレベルで測定するシステム