
小間番号:5B-603
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (じぇーえーうーらむじゃぱん)
J. A. Woollam Japan Corporation
- 一般展示
URL: https://www.jawjapan.com/
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■事業内容
弊社は非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターの専門メーカーです。真空紫外から遠赤外までの広い波長範囲をカバーする世界一多種な装置と、様々な産業および研究分野での応用例をご紹介いたします。
■みどころ・出展製品
複数入射角によるデータの同時解析により真空紫外から赤外領域までを非接触・非破壊で薄膜解析できます。半導体・誘電体・ポリマー・金属・多層膜など、あらゆるタイプの物質を調べることのできる我々の最も強力で汎用性の高いエリプソメーターです。またVASEには高い精度と分析能が、広い波長範囲(140nm~30μm)で備わっています。波長と入射角が可変なため、フレキシブルな測定が可能です。
■製品情報
RC2

二重回転補償子型高速分光エリプソメーター
IR-VASE Mark II

赤外域多入射角分光エリプソメーター
theta-SE

マッピング用小型高速分光エリプソメーター
iSE

in-situ用高速分光エリプソメーター