出展社詳細

小間番号:4A-103

レーザーテック (れーざーてっく)

Lasertec Corporation

  • 一般展示

■事業内容

レーザーテックは、半導体およびFPD関連をはじめとする産業分野で、光応用技術を用いた検査・計測のソリューションを提供しています。

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■みどころ・出展製品

レーザーテックブースでは、「ハイブリッドレーザー顕微鏡OPTELICS HYBRID+」および「コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置OPTELICS AI2」を出展いたします。その他、R&D(標準機)から量産試作(特殊ステージ仕様)、量産ライン(プロセス機)と、ニーズに合わせた各種カスタムをご提案いたします。ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。

■製品情報

レーザー顕微鏡 OPTELICS HYBRID+

2つのコンフォーカル光学系をベースに微分干渉観察、垂直式白色干渉測定など6つの機能を搭載。

コンフォーカル顕微鏡自動検査レビュー装置

自動欠陥検査 → 高倍率欠陥レビュー → 3次元形状測定までシームレスに1台で実現