小間番号:S-26 フィルメトリクス (ふぃるめとりくす) Filmetrics JAPAN, INC.
  • 一般展示

■事業内容

膜厚測定・表面形状測定のフィルメトリクスです。
各種膜厚測定システムは、20年以上に渡り世界中で5千台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な製品です。その光学技術で培ったノウハウを駆使して完成させた非接触光学式3次元表面形状測定システムは、コンパクトで高性能、驚愕の低価格システムです。

■みどころ・出展製品

● 膜厚測定システム F20
世界中で5千台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な卓上膜厚システム。研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂けます。反射率分光法を基に透明もしくは半透明膜の膜厚・光学定数を1秒程度で簡単測定。外部通信に対応しPLCやホストコンピュータからの制御も可能。

●Profilm3D 3次元表面形状測定システム
白色光干渉式で、非接触で段差・粗さを含む三次元形状が測定可能。従来品と比較してコンパクト、低価格を実現。
各種倍率の対物レンズに対応、自動ステージ、操作が容易な測定・表示ソフトウェア、標準段差サンプルが標準装備されています。
XY自動ステージは100mmx100mmか200×200mm。

■製品情報

  • F20 膜厚測定システム

    ・ワイドな測定膜厚範囲(1nm〜250μm)
    ・光学定数が解析可能
    ・広い分光波長(190nm〜1700nm)
    ・コンパクト

  • Profilm3D 3次元表面形状測定システム

    垂直走査干渉法(WLI:ミクロンオーダーの形状測定)と、位相シフト干渉法(PSI:ナノオーダーの粗さ測定)に対応

  • F10-RT 反射・透過・膜厚システム

    置くだけで反射率・透過率を同時に取得
    膜厚・屈折率・消衰係数の解析も可能
    広い分光波長範囲(190-1700nm)

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