JASIS 2020｜最先端科学・分析システム＆ソリューション展

研究用AFM：NX10, NX20, XE7, XE15, XE-Bio, SICM(イオンコンダクタンス顕微鏡), Raman-AFM, TERS
産業用AFM：NX-HDM(データストレージメディア、基盤用自動欠陥検査と粗さ計測）
XE-PTR（HDDスライダのPTR測定）、
NX-WAFER(200/300mmウエハ自動計測、ロングレンジプロファイリング)
NX-3DM（側壁の粗さと形状の自動3D計測）

Park Systems社は、他に類を見ないAFM技術を用いて、最も優れた性能を持つ市販AFM群をラインナップしています。
特筆すべき点は、今年は待望の ”SmartScan”という初心者でも簡単に高精度AFMイメージングが可能な新しいAFMのOSを開発に成功しました。
また、全機種において、ＸＹ，Ｚスキャナのクロストークが完全に排除され、ボーイングというエラーを解決したために、スキャン全域で1nmの平坦度を達成しました。
また、ＮＸシリーズでは最も低いセンサーノイズの採用に成功し、更にスキャンレンジを犠牲にしない非常に高速なＺスキャナを搭載することにより、最も正確なAFM計測を可能にした高性能クローズドループスキャナを実現しました。この卓越したスキャナと他に類を見ない正確なノンコンタクトＡＦＭにより、大気中計測では、長時間にわたり高精度で再現性の高い計測を可能にしました。
また、電気的計測モードにおいても、高速スキャンが可能なQuickstep SCM或いは柔らかい導電性試料の非破壊測定モードが可能なPinpoint iAFM(コンダクティブAFM)等、優れた最新技術が用意されています。
物性の計測では、Pinpoint 機械特性マッピング機能がNXシリーズリサーチAFMに標準搭載されて、高速で高分解能な機械特性イメージンが可能になりました。
更に、バイオのアプリケーションにおいては、ＡＦＭの液中タッピング技術や或いは類似する他の力を利用した液中計測では、直接の接触により真の柔らかい試料を正確に測定できないという問題がありましたが、Park社のSICM(イオンコンダクタンス顕微鏡)は、イオン電流をフィードバックに使用することで、この問題をついに解決しました。