SVCS Process Innovation s.r.o.

ブースNo.A-4Website
主な出展製品

SVCS
・横型、縦型の常圧拡散炉、減圧CVD及びプラズマ強化CVD炉の設計は、マルチプロセス機能とフル生産システムが求められる最大の生産能力を有するだけでなく、研究やパイロット生産で使用される小型モデルに求められる高い柔軟性を実現しています。
・SVconCS制御システムはSVCS製横型、縦型熱反応炉(拡散炉、CVD炉)及びその他の半導体製造用装置に合わせて、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。
・幅広い種類のウェハー製造技術を対象にした特別仕様の超高純度ガス、液体供給システム、さまざまな研究開発用カスタムパネル及び各種の排ガス除害装置を紹介しています。
・バブラー(先進的温度調節器)、EBS(外部燃焼システム)、化学薬品制御パネル等のプロセス装置用の構成機器、アクセサリーを紹介しています。

ワイテック
・真空内外電気・光ファイバー接続部品
・高品質及び特集配管接続部品
・セラミック絶縁チューブ、キャピラリー、棒、るつぼ等
・サファイア単結晶チューブ・プロファイル
・紫外線、放射線及び電子線検出用単結晶蛍光体

見どころ情報

SVCSは、熱反応炉およびCVD(化学気相成長法)装置の領域におけるナノサイエンス技術のためにソリューションを提供し、これらは大量生産、要求が厳しい研究開発あるいはパイロットプロジェクト用途に用いられます。このツールは半導体、太陽電池、MEMS製造およびその他のナノ技術応用の各分野、多くの研究領域におけるプロセス開発および材料の成長のために使用することができます。代表的なプロセスは、アニーリング、ボロンおよびリン拡散、酸化物、窒化物、TEOS、ポリシリコン、金属酸化物成長等です。
CVD装置、熱反応炉およびプラズマシステム等の科学機器の刷新およびアップグレードのための製造、サービスも提供します。この改修パッケー ジの主要な部分は、社内で開発されたUNIXベースの制御システムであり、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。この制御システムは、H2、 O2、HCl、SiH4、POCl3、BBr3、TEOS、TMA、DEZ等の超高純度ガス、液体およびプリカーサー蒸気供給システムでも利用することが可能です。

SVCSの代理店であるワイテックは、先端分野の極限環境技術に関して、お客様にご満足いただけるソリューションを提供する企業です。海外の先端企業各社と提携し、超高真空、低温・高温、高圧、放射線及びクリーン環境対応の部品・コンポーネント・装置などの輸入販売ならびに関連技術のコンサルティングを行っております。
主な製品は真空電気接続部品、光ファイバーを含む真空光学部品、真空アルミニウム技術関連を含む特殊配管部品、酸化物セラミック及び酸化物単結晶部品、コンポーネント及びこれらを利用する装置です。

関連情報
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