(株)東陽テクニカ

ブースNo.6A-501Website
主な出展製品

集束イオンビーム-SEM複合装置(FIB-SEM)、硬度・ヤング率測定システム、膜型表面応力センサ(MSS)、走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)用カンチレバー

見どころ情報

従来のGaイオンFIBに比べて50倍以上のミリングレートを有し、ダメージレスでmmオーダーの大容量加工を実現するTESCAN社製XeプラズマFIB-SEMシステム、およびそのオプションの1つであるTOF-SIMS機能についてご紹介をいたします。 また、硬質膜から高分子材料まで幅広い材料の機械的特性評価を実現するKLA社製高分解能ナノインデンターによるデモンストレーションをご覧いただけます。 においセンサやエレクトリックノーズの分野における研究開発ツールとして膜型表面応力センサおよび実験モジュールや、 世界標準のNanoWorld社製AFM/SPM用プローブもご紹介しております。 お持ちの機器では問題解決ができないとお困りの方、ぜひ東陽テクニカブースにお越しください。

関連情報
セミナー情報
プラズマFIB-SEMによるGaフリー試料作製と大容量3D解析
(株)東陽テクニカ
25分/50分 25分 言語 日本語
開催日 2020/11/11 時間 15:25〜15:50
部屋 A-3 分野 ナノ・材料
通常のFIBで問題となるGa汚染を解消。大容量3D解析にも活用できるプラズマFIBを紹介。
ナノインデンターを用いた自動車用材料等の硬度・ヤング率測定例
(株)東陽テクニカ
25分/50分 25分 言語 日本語
開催日 2020/11/13 時間 10:25〜10:50
部屋 A-5 分野 ナノ・材料
硬質膜やゴム等の軟質材料まで幅広い事例(硬度・ヤング率測定等)を紹介します。
TOF-SIMSおよびRamanを融合!FIB-SEMによる新しいマルチモーダル分析技術
(株)東陽テクニカ
25分/50分 25分 言語 日本語
開催日 2020/11/13 時間 13:45〜14:10
部屋 A-11 分野 ナノ・材料
FIB-SEMに搭載したTOF-SIMSおよびRamanについて分析事例と共に紹介する。
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