JASIS 2020｜最先端科学・分析システム＆ソリューション展

集束イオンビーム-SEM複合装置（FIB-SEM）、硬度・ヤング率測定システム、膜型表面応力センサ（MSS）、走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）用カンチレバー

従来のGaイオンFIBに比べて50倍以上のミリングレートを有し、ダメージレスでmmオーダーの大容量加工を実現するTESCAN社製XeプラズマFIB-SEMシステム、およびそのオプションの1つであるTOF-SIMS機能についてご紹介をいたします。 また、硬質膜から高分子材料まで幅広い材料の機械的特性評価を実現するKLA社製高分解能ナノインデンターによるデモンストレーションをご覧いただけます。 においセンサやエレクトリックノーズの分野における研究開発ツールとして膜型表面応力センサおよび実験モジュールや、 世界標準のNanoWorld社製AFM/SPM用プローブもご紹介しております。 お持ちの機器では問題解決ができないとお困りの方、ぜひ東陽テクニカブースにお越しください。