JASIS 2020｜最先端科学・分析システム＆ソリューション展

最新の表面分析装置および各種オプション
・硬X線を用いた走査型デュアルX線光電子分光分析装置（HAXPES）
・UPS/LEIPSやガスクラスターイオン銃の搭載が可能なマルチテクニックXPSをはじめとした走査型X線光電子分光分析装置（XPS）ラインアップ
・MS/MSオプションやガスクラスターイオン銃の搭載が可能な飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）
・二次イオン質量分析装置（SIMS）
・走査型オージェ電子分光分析装置（AES）
高速分光エリプソメーター（独自のスナップショット方式）
・軽量かつ小型で容易に持ち運び可能なポータブルタイプ
・自動マッピングが可能な自動ステージタイプ（対応試料サイズ：150 �o, 200 �o, 300 �oの3機種）

表面分析の可能性を拡げる多彩な技術をご紹介します。
新技術説明会では、UPS/LEIPS、ガスクラスターイオン銃を搭載したマルチテクニックXPSによる有機薄膜の評価、MS/MSオプション搭載のTOF-SIMSによる難解なスペクトル解析について発表いたします。
展示ブースでは、新技術説明会の内容に加えて、硬X線と軟X線のデュアルX線を用いたHAXPES、AES（SAM）や四重極型SIMS（D-SIMS）まで、広がるニーズに応える表面分析装置のほか、高速分光エリプソメーターをご紹介いたします。